重要外形尺寸(Critical 關鍵尺寸Dimension, 卡帶)便是MEMS組裝過程中均比較極其重要的的術語,主要就指稱的的在發微
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關鍵性長寬Critical Dimension,縮寫ROM):半導體器件白光掩模生產光刻手工中會作為評估結果調節生產工藝。
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